辉光放电质谱法（GD-MS）被认为是目前唯一具有足够灵敏度和准确度，对固体高纯材料（可达7N）中的杂质元素直接分析的方法。由于辉光放电质谱的优点，尤其是在无机材料中痕量元素的检测方面具有独特的优势，使其成为材料研发和生产领域不可或缺的高端仪器设备。

经过对仪器开发和研究，中心技术人员利用GD-MS开展了“一对一”检测技术方法研究，避免了其它检测方法前处理过程繁琐，易在处理过程中带入杂质元素，检出下限局限等不足，快速准确地对样品进行分析，解决了企业和科研院校高纯新材料检测难题。目前，中心已获得GD-MS相关标准的CNAS资质共有16项，包括利用GD-MS对高纯稀土金属、高纯铜、高纯钨、高纯钴等物质中痕量杂质元素含量的分析。