型号：Q150R
生产厂家：英国QUORUM

主要特点：
一款多功能紧凑型机械泵抽真空镀膜系统，对于SEM样品制备及其它镀膜应用非常理想。直径为165mm/6.5”的腔室可容纳多种需要镀导电膜的样品 – 尤其用于在SEM应用中提高成像质量。
采用全自动控制的新型系统能够在一次真空条件下顺序溅镀多达三层不同的金属膜，靶材可选菜单有15种预设工作程序的材料，还能自动探测放入的晶圆尺寸如100，150，200或300mm。具有涡轮泵的高真空镀膜仪使用标准溅射靶材，在系统中允许使用多种靶材，如易氧化金属和贵金属。